Nikon SLM Solutions PFM (Permanent Filter Module) — Technische Daten

Das Permanent Filter Module (PFM) ist die Prozessgasfiltration der aktuellen Anlagen von Nikon SLM Solutions. Statt wechselbarer Filterkartuschen sammelt ein gasgespülter Sinterplattenfilter Ruß und Kondensat aus dem Schutzgasstrom; das gereinigte Gas fließt zurück in die Prozesskammer. Die abgeschiedenen Rückstände werden mit einem Inhibitor passiviert und fallen in einen Behälter, der trocken entsorgt wird. Das soll Stillstandszeiten und Verbrauchskosten senken und den Umgang mit brennbaren Filterstäuben sicherer machen. Bei SLM 280 PS, SLM 500 und SLM 800 gehört das Modul zur Ausstattung, bei der SLM 280 2.0 wird es je nach Quelle als Option oder Standard geführt.

Als Einzelteil wird ein PFM selten gehandelt; meist geht es darum, ob eine gebrauchte Anlage damit ausgerüstet ist. Zu prüfen sind Zustand und Differenzdruck des Sinterfilters, die Funktion der Abreinigung, der Vorrat an Inhibitor sowie die Dokumentation der Abfallbehälter-Wechsel.